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密析尔 Pura 高纯气露点变送器/在线露点仪

密析尔 Pura 高纯气露点变送器/在线露点仪

型    号: michell
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密析尔 Pura 高纯气露点变送器/在线露点仪是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。Pura高纯气体露点变送器拥有坚固而独立的传感器,专门用来测量超高纯气体中的微量水分含量。

  • 产品描述
品牌michell/英国

密析尔 Pura 高纯气露点变送器/在线露点仪

在很多超纯气应用,诸如半导体工业中,气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来,对湿气的持续追踪测量都是个难点,需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案,用来在线测量露点值,下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。

Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。

Pura高纯气体露点变送器
这款小巧的变送器拥有坚固而独立的传感器,专门用来测量超高纯气体中的微量水分含量。
Pura使用和安装简单,可选两线制、三线制和危险区域的型号,是一款完全可自定义的产品,可以满足各种特殊需求。

亮点

  • 测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV)
  • 测量稳定,重复性好
  • 高度集成的采样装置
  • 模拟和数字输出
  • 安装简便
  • VCR 过程接口
  • 设计紧凑小巧
  • 显示/报警单元可选

高纯气体微量露点变送器
在许多高纯气体的应用中,如半导体行业,气体的残留水分对于工艺操作的影响是至关重要。
根据以往的经验,微量水分测量一直是一个难题,这需要使用复杂或昂贵的分析仪测量。现在,密析尔推出了一款简单、经济的产品,可以在线测量露点达-120°C (小于1ppb)。
Pura露点变送器的优势在于密析尔阻抗传感器生产和校准的经验和专长。工业标准材料和制造工艺结合的低成本变送器,适用于大规模集成半导体制造厂或高纯气体管线中。

使用简单
这种独立的变送器设计成可无缝接入纯气的过程应用中,并可提供可靠的测量结果。
Pura的传感器外壳是由冷拉不锈钢制成,内部采用0.25Ra μm,以达到最小的吸湿性,洁净度达到清洁室标准。
该变送器交付完整的校准和操作,并提供4-20mA的校准输出,能够连接到密析尔的显示模块或中央控制系统。
该产品的设计具有最小的内部结构。这确保了过程应用中最
kuai的响应速度,也保证了湿度测量时的最kuai响应速度。传感器密封垫圈可以在最小压力10-9torr内工作,同时整个系统可承受的最da压力为240 Barg (3480 psi)。

安装和操作简便
Pura安装简单。¼”外螺纹VCR气体接口的间距为 120mm,符合标准。整个产品的高度仅为150mm,重量小于500g。Pura是一个两线或三线制的变送器,提供最da
的操作灵活性和12-28V直流电源的供电。

可选的显示
假如应用中需要显示露点值或湿度值,Pura可以提供两种显示。显示器可以很容易连接,也可以作为Pura的电源。

服务与校准
密析尔为想要最少停机时间和设备可追溯性的用户提供以下两种服务:
传感器替换 –用户可以签订一个有保障的合同,可以更换传感器。当传感器出现问题时,可以把更换下来的传感器返回密析尔检测,从而实现零停机时间。

校准 – 用户将传感器返回密析尔,密析尔会对返回的传感器进行检查和校准。这样为过程中的传感器就可以实现可追溯性。

陶瓷阻抗传感器
Pura采用阻抗技术,是基于水分子的导电性。密析尔的陶瓷湿度传感器采用具有的厚薄膜技术。
在半导体化的陶瓷基底上,均匀的敷涂了金属导电层。导电层之间的感湿层能感受到气体样品中的水蒸气分压。水气分压决定了水分子进入感湿层的水分子的数量,即对应于导电层之间的阻抗值。露点值和水气分压有一一对应关系。经过校验,阻抗值和露点值的对应关系建立起来,被储存在变送器的芯片中。
传感器采用半导体极的陶瓷材料作为基底,给予传感器极高的结构强度和均匀特性。使密析尔湿度传感器具备其他氧化铝传感器所无法比拟的稳定性。 

技术指标

传感器
传感器类型密析尔陶瓷湿度传感器
量程-120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)
精度±1°C   -40 ~ -60°C;
±2°C   -61 ~ -100°C;
±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
1°C           -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C
压力最低 10-9 torr; 最大 24 MPa
气体流量1 ~ 5 Nl/min
电气
电源通常 24 V DC, 10 V ~ 28 V , 电流 25 mA
输出4-20 mA 输出, 对应范围可由软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)
负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)
输出出错状态标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
机械性能
传感器套筒不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 
气路连接端口Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
安装配置Premium 或 OEM 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙
底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中
尺寸Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g
包装Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装
所有选配件: 独立包装运输
Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作

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